临沧电镜样品厚度怎么测量视频
- tem电镜样品
- 2024-04-30 01:10:18
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电镜样品厚度测量是电镜观察和分析的基础,对于高分辨率的电镜观察,测量样品的厚度至关重要。本文将为您介绍如何使用扫描电子显微镜(SEM)测量电镜样品的厚度。
一、电镜样品厚度的测量方法
1. 传统测量方法
传统的电镜样品厚度测量方法主要是使用金膜法。先将试样置于真空环境中,将其与扫描电极接触,通过改变扫描电极的位置和样品与电极的距离,以获取不同的衍射信号。然后通过信号处理和分析,计算出样品厚度。这种方法需要使用复杂的设备,且测量结果受限于样品的形状和组成。
2. SEM测量方法
SEM(扫描电子显微镜)是一种更适合测量电镜样品厚度的仪器。它可以在高分辨率下观察样品,且具有更高的灵敏度。SEM测量样品厚度时,首先将样品置于真空环境中,然后将其与SEM探针接触。通过改变探针的位置和样品与探针的距离,可以获取不同的衍射信号。由于SEM的高分辨率,衍射信号可以用于计算样品的厚度。
二、SEM测量电镜样品厚度的步骤
1. 准备样品
将待测样品置于真空环境中,并将其与SEM探针接触。扫描探针以确保样品与探针紧密接触。
2. 选择合适的扫描模式
根据样品的厚度和特性,选择合适的扫描模式。例如,对于薄样品,可以使用能量传递模式(ET)或热电子模式(HE)进行测量;对于厚样品,则需要使用更高质量的样品制备技术,如球磨或化学腐蚀。
3. 测量样品厚度
在扫描过程中,观察扫描探针与样品之间的信号变化。当扫描探针与样品之间的距离发生显著变化时,即认为扫描已覆盖样品的厚度。此时,记录扫描数据,并使用扫描仪软件进行信号处理和厚度分析。
4. 分析结果
根据扫描仪软件提供的信息,分析扫描数据以计算样品的厚度。通常使用公式:厚度(μm)=(扫描数据1 - 扫描数据2)/(2 * g * n),其中g为重力加速度,n为摩尔折射率(对于非晶硅)。
三、结论
通过使用SEM测量电镜样品厚度,可以获得更准确和可靠的测量结果。这种方法不需要复杂的设备,而且具有更高的灵敏度。因此,它是研究电镜样品厚度的重要工具。需要注意的是,样品的制备质量和扫描仪的性能也会影响测量结果的准确性。
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